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Innovations technologiques / Référence TI958

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La sonde atomique tridimensionnelle laser

Référence IN83 | Date de publication : 10 juin 2008 | Bernard DECONIHOUT,, Didier BLAVETTE, François VURPILLOT,, Alain MENAND

INTRODUCTION

Avec l’émergence de la sonde laser, il est désormais possible d’analyser en 3D les matériaux mauvais conducteurs, en particulier les semi-conducteurs et oxydes, importants en micro-électronique.

LA
BOUTIQUE    ..............................................................................................................

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