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Innovations technologiques / Référence TI958

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La sonde atomique tridimensionnelle laser

Référence IN83 | Date de publication : 10 juin 2008 | Bernard DECONIHOUT,, Didier BLAVETTE, François VURPILLOT,, Alain MENAND

3. Performances

3.1 Ouverture aux matériaux mauvais conducteurs

La figure 5 montre le spectre de masse issu de l’analyse d’une pointe de silicium intrinsèque (c’est-à-dire Si pur) de résistivité élevée ( à 300 K) à comparer à celle du cuivre de l’ordre de ). On démontre ici que l’emploi d’impulsions lasers permet l’analyse de matériaux dont la résistivité est plusieurs milliards de fois plus élevée que celle des métaux. Notez la présence d’ions...

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