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Microcapteurs chimiques en micropoutres silicium pour régime dynamique

Référence IN84 | Date de publication : 10 avr. 2006 | Isabelle DUFOUR, Frédéric LOCHON

INTRODUCTION

La qualité de l'air est devenue une préoccupation importante de la société car la présence de certaines substances dans l'air ambiant, notamment des composés organiques volatils, est à l'origine de nombreux problèmes de santé.

Pour répondre à la nécessité de quantifier la présence de ces composés, différents capteurs chimiques sont, depuis quelques années, étudiés et mis au point. Les microcapteurs chimiques à base de micropoutres en silicium, de la famille des microsystèmes électromécaniques (MEMS), en font partie et présentent l'avantage de pouvoir être intégrés dans un système autonome portable et utilisés pour la détection d'une grande variété d'analytes.

Dans ce dossier sont expliqués le principe de fonctionnement et la mise en œuvre de ce type de capteur. Les exemples de mesures présentés mettent en évidence les notions de réversibilité, sensibilité, sélectivité, et limite de détection, autant de critères importants dans le choix de capteurs chimiques pour des applications spécifiques.

LA
BOUTIQUE    ..............................................................................................................

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