Microcapteurs chimiques en micropoutres silicium pour régime dynamique

Les domaines d'application des capteurs chimiques en milieu gazeux sont très variés et concernent, aussi bien les environnements de travail (notamment les usines), que les habitations collectives et individuelles. L'utilisation typique varie elle aussi, du simple détecteur de monoxyde de carbone, jusqu'à la détection de neurotoxiques, ou la surveillance de cheminées industrielles, en passant par le suivi de procédés. Enfin, les seuils de détection peuvent être extrêmement différents, selon l'usage ou le contexte et aller, des traces, dans le cas des neurotoxiques, jusqu'à plusieurs pour cents, dans le cas du monoxyde de carbone.

• Toutes ces applications potentielles répondent à des critères souvent exclusifs qui obligent à une recherche et un développement constant des capteurs.

  Par exemple, la surveillance de la pollution atmosphérique nécessite des capteurs à temps de réponse très court, avec un seuil de détection très bas, pour les concentrations de chaque gaz dans un mélange de multiples gaz, le tout dans un environnement perturbé par des poussières....