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2. Fonctionnement du capteur
Des micropoutres en silicium, fabriquées par des techniques dérivées de celles de la microélectronique, peuvent servir de microcapteurs chimiques. Pour cela, une couche sensible, dont le rôle est de capter de façon sélective l'espèce chimique que l'on souhaite détecter, est déposée sur la micropoutre. La sorption de composés par cette couche modifie ses caractéristiques physico- chimiques et, par conséquent, les propriétés mécaniques de la microstructure. Deux modes de fonctionnement peuvent être utilisés :
-
variation de la fréquence de résonance, due essentiellement à la modification de la masse du système (régime dynamique) ;
-
variation de la courbure, due à la modification des contraintes surfaciques à l'interface micropoutre/couche sensible (régime statique).
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