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Innovations technologiques / Référence TI958

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Microplumes robotisées pour la fabrication de microlentilles - Application à la collimation des VCSEL

Référence RE138 | Date de publication : 10 févr. 2010 | Jean-Baptiste DOUCET, Jean-Bernard POURCIEL, Corinne VERGNENÈGRE, Emmanuelle DARAN, Véronique BARDINAL, Thierry CAMPS

2. Dimensionnement des microlentilles

2.1 Comment sont conçues les microlentilles déposées sur le VCSEL ?

Les microlentilles ont été modélisées pour optimiser leurs paramètres géométriques grâce au logiciel Zemax„ (voir en [Doc. RE 138]), en prenant en compte le caractère gaussien du faisceau laser. Avant d'envisager la fabrication de la microlentille sur le composant, il faut tout d'abord définir et réaliser des piédestaux de taille élevée (≈ 100 μm) avec une résine épaisse transparente (dans notre cas, la SU-8 voir paragraphe 3.2...

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