Caractérisation des surfaces et des matériaux stratifiés par rayons X

Nous avons tenté de montrer qu’à l’aide des rayons X employés sous incidence rasante on peut caractériser des surfaces, des interfaces, mesurer des épaisseurs de couches ou la période de multicouches. Les méthodes indiquées sont applicables à des matériaux très variés, qu’ils soient amorphes ou cristallins. En outre, avec le même type d’appareil, on peut étudier le degré de cristallisation et la composition chimique des différentes phases présentes. Dans son principe, l’appareil de base est semblable aux spectrogoniomètres à tube à rayons X classiques, mais le système doit être adapté au travail sous incidence rasante, ce qui suppose des possibilités de rotation, d’orientation et d’alignement soignées. Pour la détection, il est souvent avantageux d’employer un détecteur à localisation linéaire, il peut éviter de balayer le spectre en recueillant simultanément à différents angles les photons diffractés, diffusés ou émis par fluorescence. Ce type de détecteur enregistre en parallèle le rayonnement diffracté ou diffusé à différents angles, ce qui permet un gain de temps considérable. Un autre type d’enregistrement en parallèle...