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Techniques d'analyse / Référence TI630

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Caractérisation des surfaces et des matériaux stratifiés par rayons X

Référence P1085 | Date de publication : 10 janv. 1996 | Pierre DHEZ

1. Conditions d'emploi des rayons X pour l'étude des surfaces et interfaces

Pour obtenir des informations exploitables, nous avons déjà mentionné la nécessité de n’exciter que les couches étudiées et proches de la surface. Dans un premier temps, nous considérerons le cas d’une surface homogène parfaitement plane. Ce cas peu réaliste simplifie la présentation du principe des méthodes d’analyse et des paramètres ou des ordres de grandeur des variables considérées. Dans les paragraphes suivants, nous envisagerons des cas plus réalistes, c’est-à-dire des surfaces avec des défauts ou des couches superposées.

Le lecteur pourra se reporter à la référence pour une revue des méthodes de caractérisation des surfaces...

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