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Techniques d'analyse / Référence TI630

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Caractérisation des surfaces et des matériaux stratifiés par rayons X

Référence P1085 | Date de publication : 10 janv. 1996 | Pierre DHEZ

3. Couche unique déposée sur un substrat

Voyons maintenant l’allure de la courbe de réflectivité dans le cas où la surface du substrat est recouverte d’une couche mince. Cette dernière peut, par exemple, avoir été déposée par évaporation ou formée par réaction chimique.

Dans ce cas, après la zone de réflexion totale, on observe des oscillations dans la descente de la courbe de réflectivité. Ces oscillations, appelées franges de Kiessig , sont le résultat d’une interférence entre deux ondes : celle réfléchie par l’interface air-couche mince et celle réfléchie par l’interface couche mince-substrat. Le contraste des franges dépend de l’intensité relative des deux ondes, c’est-à-dire de l’indice respectif des deux matériaux et donc de leur absorption relative. La période des oscillations dépend de la différence...

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