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Techniques d'analyse / Référence TI630

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Caractérisation des surfaces et des matériaux stratifiés par rayons X

Référence P1085 | Date de publication : 10 janv. 1996 | Pierre DHEZ

2. Couches superficielles : couches de passage et rugosités

Pour les rayons X, la formule de Fresnel ne permet de calculer l’intensité réfléchie que pour des incidences supérieures à l’angle critique. En outre, cette formule de Fresnel ne peut rendre compte que de l’intensité réfléchie spéculairement, c’est-à-dire dans la direction exactement symétrique à l’incidente. Cela exclut donc la prise en compte de la lumière diffusée en dehors de la direction symétrique. Or tout défaut de surface, rayures ou inhomogénéité de composition, se comporte comme un réseau diffractant et envoie de l’énergie en dehors de la direction de réflexion spéculaire. C’est pourquoi, en première approximation, le modèle de surface le plus simple et le plus fréquemment employé est celui du dioptre plan : cas idéal supposant l’existence de surfaces parfaitement planes séparant deux milieux parfaitement homogènes, quelle que soit l’échelle considérée. Dans ce modèle, la variation de densité électronique au passage entre les deux milieux est supposée parfaitement abrupte, par exemple au passage vide-matériau. Pour les expériences utilisant les rayons X, cette approximation est rarement correcte, car les atomes interagissants sont alors d’une...

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