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Techniques d'analyse / Référence TI630

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Microscopie électronique à balayage - Images, applications et développements

Référence P866 | Date de publication : 10 mars 2006 | Henri PAQUETON, Jacky RUSTE

1. Images et contrastes

Le microscope électronique à balayage est utilisé essentiellement pour obtenir des images de la surface de l’échantillon. Ces images sont formées principalement à l’aide des émissions électroniques de surface (électrons secondaires et électrons rétrodiffusés). Différents contrastes peuvent être observés, apportant des informations très variées sur l’échantillon, essentiellement sur son relief (contraste topographique), mais aussi sur la répartition des phases en présence (contraste « de numéro atomique » à l’aide des électrons rétrodiffusés). D’autres contrastes peuvent également selon les cas être observés, en particulier des contrastes chimiques (présence et distribution des éléments chimiques) et cristallins (structure cristallographique et texture). Le microscope électronique à balayage peut également donner une analyse chimique précise locale pouvant même être quantitative si l’échantillon le permet (« microanalyse par sonde électronique »).

Le contraste représente la variation relative du signal entre deux points voisins de l’image, d’amplitudes respectives S 1 et S 2...

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