Microscopie électronique à balayage - Images, applications et développements

Pendant de nombreuses années, des progrès constants ont été accomplis dans la conception et la fabrication des microscopes électroniques à balayage :

• pour améliorer la résolution spatiale : en réduisant les aberrations des lentilles électroniques, en améliorant le rendement des détecteurs et en améliorant la brillance des canons à électrons tout en réduisant les coûts ;

• pour adapter son usage à l’industrie des composants électroniques : chambres « objet » appropriées, optimisation du fonctionnement à basse tension ;

• pour faciliter le pilotage par l’informatisation ;

• pour intégrer dès la conception la numérisation des images acquises.

Plus récemment, de nouvelles applications se sont développées à partir d’appareillages particuliers :

• l’utilisation automatique et méthodique de la diffraction des électrons rétrodiffusés (EBSD) ;

• l’amélioration des observations des échantillons non conducteurs sans métallisation par la mise au point de :• 

  • microscopes électroniques...