7. Perspectives
Si pendant une trentaine d’années, la microscopie électronique à balayage a peu évolué, elle connaît depuis les années 1990 des évolutions considérables, en particulier avec les microscopes à haute résolution et à pression variable.
Une évolution très récente est appelée certainement à un grand développement, le microscope à double colonne où, à la colonne classique électronique, on associe une seconde colonne ionique, source d’un faisceau d’ions focalisé (FIB : Focused Ion Beam).
Les avantages que l’on peut obtenir à partir d’un bombardement ionique de l’échantillon sont multiples :
-
abrasion locale permettant d’observer la structure interne de l’échantillon (imagerie 3D) ;
-
observation du contraste cristallin par émission électronique induite par les ions ;
-
préparation in situ de la surface en vue d’une analyse EBSD ;
-
préparation de lames minces pour une observation ultérieure en TEM, etc.
La figure ...
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