2. Résolution spatiale et profondeur de champ
L’image principale est associée aux électrons secondaires. Le pouvoir séparateur p, qui caractérise la résolution spatiale latérale, est la plus petite distance sur l’objet dont les points conjugués sur l’image sont distincts. Deux points de l’image ne sont réellement distincts que si les zones d’émergence des électrons secondaires recueillis associées à chaque point le sont également effectivement et si le contraste relatif est suffisant.
Pour optimiser le pouvoir séparateur, il faut donc le plus possible :
-
réduire le diamètre du pinceau électronique incident (appelé aussi diamètre du spot ou de la sonde électronique) ;
-
limiter les sources d’élargissement de la zone d’émergence des électrons secondaires ;
-
conserver une intensité électronique suffisante pour que le contraste significatif dépasse suffisamment le bruit de fond électronique de la détection.
Le pouvoir séparateur reste difficile à mesurer avec exactitude, mais on estime généralement qu’en électrons...
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