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Techniques d'analyse / Référence TI630

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Microscopie optique en champ proche

Référence P862 | Date de publication : 10 mars 1998 | Daniel VAN LABEKE

3. Instrumentation

Si le principe des microscopes optiques en champ proche est simple, de nombreux problèmes techniques sont à résoudre pour passer du principe à la réalisation. Nous allons rapidement les passer en revue et donner les solutions qui ont été proposées pour les résoudre. Commençons par les problèmes techniques communs à toutes les microscopies en champ proche.

3.1 Dispositif de balayage

Comme tous les microscopes à sonde locale, les microscopes optiques en champ proche utilisent des céramiques piézoélec-triques pour positionner et déplacer la pointe dans les trois dimensions de l’espace. Ces dispositifs sont commercialisés avec leur électronique de commande. Vu les résolutions obtenues actuellement en optique, une résolution de 1 nm en (x, y) semble suffisante. Une résolution de 0,1 nm est nécessaire en z . La qualité du dispositif de balayage dépend de celle des céramiques (linéarité et faible hystérésis), mais l’électronique joue un rôle fondamental sur les résultats obtenus. Elle permet une compensation de l’hystérésis et des non-linéarités et doit avoir un excellent rapport signal/bruit. Le...

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