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Article

1 - DIFFÉRENTS TYPES DE MESURE

2 - EXEMPLES ET APPLICATIONS INDUSTRIELLES

3 - PERSPECTIVES POUR LES MICROCAPTEURS

4 - CONCLUSION

Article de référence | Réf : R431 v1

Conclusion
Capteurs MEMS - Techniques de mesures

Auteur(s) : Gilles Amendola, Patrick Poulichet, Laure Sevely, Laurie Valbin

Date de publication : 10 sept. 2011

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INTRODUCTION

Après avoir exposé dans le premier article (article [R 430]) les technologies de fabrication, les principaux effets rencontrés et les traitements électroniques associés, le but de ce 2e article est d’exposer les techniques utilisées et leur réalisation industrielle (ou expérimentale) dans les principaux types de mesures ; ainsi, les méthodes utilisées pour les mesures de pression, accélération, vitesse angulaire, courant, détection d’agents chimiques, etc. seront développées.

Rappelons au lecteur qui n’aurait pas lu [R 430] que nous définissons par « microsystèmes » des systèmes à base de microtechnologie qui associent des principes mécaniques, électriques, optiques, chimiques, etc. et l’électronique de traitement. Le terme « MEMS » est utilisé pour des microsystèmes basés sur des principes électriques et mécaniques et les microcapteurs (ou capteurs MEMS) sont des microsystèmes dédiés à la détection ou à la mesure de grandeurs physiques.

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De la conception au prototypage, jusqu'à l'industrialisation, la référence pour sécuriser le développement de vos projets industriels.

DOI (Digital Object Identifier)

https://doi.org/10.51257/a-v1-r431


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4. Conclusion

Dans ce chapitre, nous avons décrit les méthodes utilisées par les capteurs d’accélération, de rotation, de pression, acoustiques, chimiques et magnétiques. Nous avons également détaillé quelques exemples de réalisations industrielles (commercialisées avant 2010) en donnant les principales caractéristiques des capteurs. Dans le but de brosser le tableau des prochaines années, des travaux de recherche, ainsi que des perspectives pour les microcapteurs ont été présentés.

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BIBLIOGRAPHIE

  • (1) - LIU (K.), ZHANG (W.), CHEN (W.), LI (K.), DAI (F.), CUI (F.), WU (X.), MA (G.), XIAO (Q.) -   The development of micro-gyroscope technology  -  Journal of Micromechanics and Microengineering – Volume 19(1), Pages 1-29 (2009).

  • (2) - EATONY (W.P.), SMITH (J.H.) -   Micromachined pressure sensors : review and recent developments  -  Smart Materials and Structures. Volume 6(5), Pages 530-539 (1997).

  • (3) - TRAUTWEILER (S.), MOSIER (N.), ZDANKIEWICZ (E.) -   New Silicon-Based Metal-Oxide Chemical Sensors  -  MicroChemical Systems, http://archives.sensorsmag.com/articles/0999/109/index.htm.

  • (4) - TSAI (P.P.), CHEN (I.-C.), HO (C.-J.) -   Ultralow power carbon monoxide microsensor by micromachining techniques  -  Sensors and Actuators B 76 380-387 (2001).

  • (5) - AIKEN (T.) -   *  -  . – MOS Air Quality Sensors Make Vehicle Cabins Safer, http://archives.sensorsmag.com/articles/0204/40/main.shtml.

  • ...

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