Mise à jour de la publication initiale parue en 1993 dans Techniques de l’Ingénieur de Jean-Claude CHARBONNIER, Hubert HOCQUAUX et Didier LOISON
La spectroscopie de décharge luminescente fait intervenir le phénomène de pulvérisation cathodique de l’échantillon à analyser.
Celui-ci est placé dans une source fonctionnant sur le principe d’un tube cathodique.
L’énergie utilisée pour l’excitation des atomes est l’énergie cinétique des particules chargées ou non électriquement (ions, électrons, atomes neutres...).
Parce qu’elle ne comporte pas de volatilisation de l’échantillon, contrairement aux autres sources d’excitation, la pulvérisation cathodique de l’échantillon est compatible avec la résolution en profondeur indispensable à l’analyse de surfaces.
Les espèces pulvérisées dans la lampe à décharge peuvent être identifiées par leur spectre d’émission lumineuse ; c’est l’analyse par spectroscopie optique de décharge luminescente GDOS (« Glow Discharge Optical Spectrometry ») appelée aussi GDOES (« Glow Discharge Optical Emission Spectrometry »). Mais ces espèces peuvent aussi être identifiées par leur spectre de masse que nous aborderons également de façon plus succinte. On parle alors de spectroscopie massique de décharge luminescente GDMS (« Glow Discharge Mass Spectroscopy »).
