22 résultats pour 'gravure plasma'

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  • 27 avr. 2017
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  • Réf : 42919

Photovoltaïque : la gravure à sec rend le solaire plus propre et abordable

thermiquement à l'intérieur du réacteur où va se réaliser la gravure. Il n'y a donc pas besoin ni de plasma... par l'utilisation d'une gravure à sec à pression ambiante. Le gaz de gravure utilisé est du fluor, activé... , ni de vide. Le réacteur, monoface, applique la gravure sur un seul côté et ce procédé permet d...

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  • 16 févr. 2016
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  • Réf : 31959

Une révolution dans le domaine du stockage d'énergie sur des puces miniaturisées

interdigitées des microsupercondensateurs est réalisée par gravure sèche ICP/RIE, méthode de gravure plasma... les performances électrochimiques et mécaniques. La gravure plasma des structures interdigitées a été réalisée... interdigitée par gravure avec des épaisseurs de TiC supérieures à 5 µm. Cela fait quelques années... de la microélectronique et qui permet de faire des couches minces sur des grandes surfaces. La gravure des structures...

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  • 10 oct. 2018
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  • Réf : 58652

Les nanotechnologies aussi peuvent se mettre au vert

ont ensuite été transférés sur du silicium par gravure au plasma. Les performances obtenues correspondent... sans autre opération chimique supplémentaire pour fournir une résine photopositive (la gravure finale est identique... , à la résine de chitosane a permis de la rendre sensible à des UV à 248 nm et d'obtenir des gravures de taille...

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  • 29 mai 2019
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  • Réf : 66489

Photovoltaïque : l’hétérojonction dans les starting-blocks industriels

de cette base, les étapes de fabrication sont limitées et simplifiées : gravure par bain chimique pour former... des pyramides sur les wafers, nettoyage, dépôt par plasma de couches nanométriques de silicium amorphe, puis d...

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  • Article de bases documentaires
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  • 10 janv. 2018
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  • Réf : e6510
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Réseaux de diffraction pour les lasers de haute intensité

optiques requiert un contrôle sub-micrométrique de la gravure. Le premier réseau a été fabriqué au XVIII... interférométrique a permis un progrès considérable dans le contrôle de la période de gravure sur de grandes surfaces... de diffraction. Il a construit le premier système de gravure et a vite compris l’importance cruciale... de la période de gravure sur les propriétés de diffraction. Ses travaux fondateurs ont initié d’intenses efforts...

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  • 16 sept. 2021
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  • Réf : in214
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Matériaux et microfluidique - Collage du verre à basse température : nouvelles perspectives

des techniques de gravure du silicium, les MEMS ( Micro Electro Mechanical Systems  )  [R 430] ont émergé... . Des traitements de surface (par plasmas sous air ou sous argon) permettent de modifier cette chimie de surface... .) - Crosslinked polydimethylsiloxane exposed to oxygen plasma studied by neutron reflectometry and other surface... 'être démoulé ; un traitement des surfaces (du PDMS et du substrat) par plasma est réalisé...

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  • Article de bases documentaires
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  • 23 mai 2017
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  • Réf : re45
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Métamatériaux : des micro-ondes à l’optique

de perte ( γ ), le paramètre clé est ici la fréquence plasma du métal (plusieurs milliers de térahertz... et qui soient négatives ? Simplement, en diluant le milieu métallique pour abaisser la fréquence plasma équivalente... de coupure est la fréquence plasma équivalente (figure  2 b ). Par cette méthode, en fonction... . Alors que le réseau filaire est opaque sous la fréquence plasma et que le réseau d’anneaux présente...

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  • 10 avr. 2019
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  • Réf : e6416
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Guides d’onde optiques en verre fluoré - Technologie et applications

.), TERUNUMA (Y.), TAKAHASHI (S.) - Plasma-enhanced chemical vapor deposition of ZrF 4 -based fluoride glasses...

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  • 10 mai 2019
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  • Réf : j8010
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Microfluidique et formulation - Émulsions et systèmes colloïdaux complexes

anisotropes ou isotropes. Il existe plusieurs types de gravure sèche selon la nature du plasma contenant... (gravure à sec ou mouillé) et les additives (déposition de métaux). Il est nécessaire de travailler...  » sont nécessaires  TABELING (P.) - Introduction to microfluidics . . Microstructuration La gravure humide... les régions de l’objet non modifiées. Pour des gravures isotropes, généralement, il s’agit d’une attaque...

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  • 10 oct. 2018
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  • Réf : e6312
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Photoinscription par laser à impulsions ultrabrèves pour des systèmes optiques 3D

ainsi de nombreuses collisions. Tous ces phénomènes contribuent à la génération d’un plasma électron-trou selon l’équation... laser : avec a coefficient d’absorption du plasma de porteurs libres... , et N énergie et nombre de photons. Finalement, un plasma électron-trou est créé. Ce dernier assure... d’ionisation plasma basés sur des équations de taux de variation de la population électronique...

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