Présentation
RÉSUMÉ
Les capteurs MEMS (Micro Electro Mechanical System) sont des microsystèmes dédiés à la détection ou à la mesure de grandeurs physiques. Ces composants, issus de la microélectronique, ont permis l’intégration de fonctions qui n’auraient pu l’être sans cette technologie, dans des domaines aussi variés que l’automobile, les téléphones mobiles, les pacemakers… Les capteurs MEMS ont pour vocation de transformer des variations de valeurs d’un paramètre électrique (résistance, capacité...) en un signal électrique facilement utilisable (ce signal pouvant être analogique ou numérique). La technologie des MEMS est basée sur les étapes de fabrication des circuits intégrés, comme les traitements thermiques pour la diffusion d’espèces oxydantes ou dopantes, les dépôts, la photolithographie.
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Lire l'articleAUTEUR(S)
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Gilles AMENDOLA : Enseignant chercheur à ESIEE Engineering
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Patrick POULICHET : Enseignant chercheur à ESIEE Engineering
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Laure SEVELY : Enseignant chercheur à ESIEE Engineering
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Laurie VALBIN : Enseignant chercheur à ESIEE Engineering
INTRODUCTION
Cet article est le premier d’une suite de deux articles, [R 430] et
Dans la seconde partie (article
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RÉFÉRENCE BIBLIOGRAPHIQUE
CET ARTICLE SE TROUVE ÉGALEMENT DANS :
Les capteurs MEMS - Principes de fonctionnement
Généralités et procédés de fabrication
Sources bibliographiques
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