Laure SEVELY

Passez en revue les techniques utilisées dans la fabrication des micros capteurs qui savent soutenir détection et mesure des principales grandeurs physiques. Pour preuve, des exemples d’applications industrielles en accélération, acoustique, pression, rotation ainsi que leurs perspectives d’évolution.

Les microcapteurs sont des microsystèmes implantés dans toutes les applications microélectroniques actuelles, ils ont pour fonction de détecter et de mesurer des grandeurs physiques. Mais quelles sont donc leurs technologies ? Et quels traitements électroniques les rendent si irremplaçables ?