Présentation
RÉSUMÉ
Le terme MEMS (Micro Electro Mechanical System) est utilisé pour des microsystèmes basés sur des principes électriques et mécaniques. Les microcapteurs (ou capteurs MEMS) sont eux dédiés à la détection ou à la mesure de grandeurs physiques. Sont développées dans cet article les différentes techniques utilisées et leur réalisation industrielle (ou expérimentale) dans les principaux types de mesures que sont la pression, l’accélération, la vitesse angulaire, le courant, la détection d’agents chimiques. L’évolution des microcapteurs va vers une réduction de leurs géométries afin d’observer des effets invisibles jusqu’alors, une augmentation de leurs performances et une réduction de leur consommation pour aboutir à la mise en œuvre de réseaux de capteurs.
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Lire l'articleAUTEUR(S)
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Gilles Amendola : Enseignant chercheur à ESIEE Engineering
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Patrick Poulichet : Enseignant chercheur à ESIEE Engineering
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Laure Sevely : Enseignant chercheur à ESIEE Engineering
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Laurie Valbin : Enseignant chercheur à ESIEE Engineering
INTRODUCTION
Après avoir exposé dans le premier article (article
Rappelons au lecteur qui n’aurait pas lu
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RÉFÉRENCE BIBLIOGRAPHIQUE
CET ARTICLE SE TROUVE ÉGALEMENT DANS :
Capteurs MEMS - Techniques de mesures
Différents types de mesure
Sources bibliographiques
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