Glossaire

Nanolithographie : définition

Procédé qui permet de transférer des structures microscopiques sur un substrat en y déposant une résine photosensible (positive ou négative) et en l’éclairant (lumière UV) à travers un masque identique au motif à transférer (ou à son négatif). Les techniques champ proche ouvrent la voie à une résolution sub-longueur d’onde, d’où le terme de "nanolithographie" ou de "nanophotolithographie".

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