7. Glossaire
ALD ; Atomic Layer Deposition
Technique de dépôt chimique en phase vapeur à flux alternés, basée sur des réactions de surface autolimitantes, qui permet un contrôle fin de l’épaisseur, de la composition des films, et des caractéristiques spécifiques (uniformité, conformalité).
adsorption ; adsorption
Terme décrivant les phénomènes d’interaction entre une espèce gazeuse ou liquide (adsorbat) et une surface (adsorbant). Elle peut être de type physique (physisorption) ou chimique (chimisorption).
fenêtre ALD ; ALD window
Gamme de température dans laquelle la vitesse de dépôt est constante et la croissance de type ALD....
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Glossaire
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