4. Glossaire
PE ALD ; plasma enhanced atomic layer deposition
Dépôt par couche atomique assistée par plasma.
CVD ; chemical vapor deposition
Dépôt chimique en phase vapeur.
OES ; optical emission spectroscopy
Spectroscopie d’émission optique, elle est utilisée pour identifier les espèces se désexcitant de façon radiative dans un plasma.
ICP ; inductively coupled plasma
Réacteur utilisant une source inductive pour créer la décharge plasma.
TEM ; transmission electron...
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