4. Conclusion
Au vu des très nombreuses publications et des récents développements industriels, il apparaît clairement que l’ALD est une technologie désormais bien implantée dans la communauté du photovoltaïque. D’un point de vue industriel, la technologie PERC sur silicium étant amenée à avoir une place importante sur le marché, les performances des couches de passivation d’alumine déposées par ALD et le développement de réacteurs spécifiques ouvrent de nouvelles applications commerciales à l’ALD. D’un point de vue plus exploratoire, la capacité de l’ALD à déposer des couches minces d’excellente qualité avec un contrôle extrêmement précis de l’épaisseur, uniformes sur de grandes dimensions et couvrantes est un atout incontournable pour le développement de nouvelles architectures de cellules solaires.
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