6. Glossaire
ALD ; ALD (Atomic Layer Deposition)
Technique de dépôt chimique en phase vapeur à flux alternés, basée sur des réactions de surface autolimitantes. Cela permet un contrôle fin de l’épaisseur et de la composition des films, et l’obtention de caractéristiques spécifiques (uniformité, conformalité).
Adsorption ; adsorption
Terme décrivant les phénomènes d’interaction entre une espèce gazeuse ou liquide (adsorbat) et une surface (adsorbant). Elle peut être de type physique (physisorption) ou chimique (chimisorption).
Fenêtre ALD ; ALD window
Gamme de températures dans laquelle la vitesse de dépôt...
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