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Innovations technologiques / Référence TI958

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Capteurs chimiques pour la détection d’explosifs

Référence IN14 | Date de publication : 10 déc. 2003 | Frédéric THERY-MERLAND, Lionel HAIRAULT, Pierre MONTMEAT,

3. Tests de détection avec la microbalance à quartz

3.1 Principe

Le principe a été décrit au paragraphe 1.2.2. Précisons ici que ces dispositifs sont utilisés dans l’industrie microélectronique pour contrôler l’épaisseur des couches métalliques déposées. Dès lors que l’on sait déposer sur une microbalance à quartz une structure qui fixe par adsorption une espèce chimique particulière, on dispose d’un capteur de très faible coût et de très grande sensibilité (seuil de détection inférieur à 10 ng). Le dispositif consiste à...

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