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Tribology of thin film applied to ohmic contact MEMS micro-relays

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Tribology of thin film applied to ohmic contact MEMS micro-relays

Authors : Brice ARRAZAT, Karim INAL

Publication date: September 10, 2012 | Lire en français

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(1) - PETERSEN (K. E.) - Micromechanical membrane switches on silicon, IBM J. Res. Dev. - vol. 23, pp. 376-385, July 1979.
(2) - COUTU (R. A.), KLADITIS (P. E.), STARMAN (L. A.), REID (J. R.) - A comparison of...

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