5. Perspective du développement du transistor MOS
Depuis plus de 30 ans, la miniaturisation du transistor MOS est guidée par un jeu très simple de « règles de réduction d’échelle » proposées par Dennard (1967) et qui se basent sur l’observation fondamentale que les dimensions du transistor peuvent être diminuées sans compromettre ses caractéristiques électriques.
Plus précisément, ces règles prévoient la conservation de ce qu’on appelle aujourd’hui l’ intégrité électrostatique du transistor (il s’agit principalement, de la conservation des champs électrostatiques internes et ainsi du maintien du contrôle des effets de petites dimensions) lorsqu’une réduction de toutes les dimensions du dispositif ( L , W , T ...
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Perspective du développement du transistor MOS
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