2. ALD : principe, caractéristique, applications et défis pour le PV
L’ALD, par son mécanisme de croissance propre (réactions chimiques
séquentielles et autolimitées de surface), permet le dépôt de couches
minces aux propriétés uniques (contrôle à l’échelle atomique de la
composition et de l’épaisseur de films, conformes, uniformes) à basse
température sur de larges surfaces (à l’échelle du m
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).
Ainsi, les matériaux fonctionnels ALD ont des applications variées
à l’échelle du laboratoire et de l’industrie PV.
Nous rappelons ici quelques aspects-clés de la croissance par
ALD et des films obtenus, qui sont approfondis dans d’autres articles.
L’ALD est un procédé versatile qui permet le dépôt de couches...
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ALD : principe, caractéristique, applications et défis pour le PV