Propriétés des hétérostructures unidimensionnelles
Composants à hétérostructures : applications en nanoélectronique et nanophotonique

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Propriétés des hétérostructures unidimensionnelles
Composants à hétérostructures : applications en nanoélectronique et nanophotonique

Auteur(s) : Olivier VANBÉSIEN

Date de publication : 10 avril 2006 | Read in english

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2. Propriétés des hétérostructures unidimensionnelles

2.1 Hétérostructures simples

Associer des matériaux différents et assurer une bonne qualité d'interface reste un défi technologique majeur. Il est connu depuis longtemps qu'un contact métallique sur GaAs est de bien meilleure qualité que sur silicium, d'où le développement des transistors MESFET puis HEMT sur matériaux III- V . Maîtriser de la même manière des hétéro-interfaces semi-conducteur-oxyde fut la priorité pour les transistors MOS, problématique qui revient à l'ordre du jour suite à l'introduction, au niveau des grilles, de nouveaux diélectriques à forte permittivité pour poursuivre la miniaturisation de ces transistors. De plus, au sein des composants, les hétérostructures semi-conductrices sont devenues incontournables...

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