- Dispositifs à transfert de charges (CCD) - Annexes
- Microsystèmes : applications et mise en œuvre - Références bibliographiques
- Conception des circuits imprimés rigides - Annexes
Mais Nanoscribe repousse encore les limites de la photolithographie avec son nouveau système qui ouvre de nouvelles perspectives dans le domaine des réalisations 3D à l’échelle nanométrique : désormais il devient possible de créer des structures de grande hauteur
Photolithographie La photolithographie sert, avec la gravure, à définir les motifs des différentes couches
Les supports sont fabriqués par photolithographie, une méthode massivement parallèle issue de la microélectronique
Technologies de photolithographie Les dimensions inhabituelles – dans le métier de la microélectronique – de certains dispositifs à transfert de charge (on en a vu une approche au § 2.2.2 ) posent de nouveaux problèmes aux technologues et aux concepteurs et fabricants de machines, ainsi qu’aux