1. Généralités
La course effrénée à la performance en microélectronique se traduit par des efforts technologiques colossaux permettant de
doubler les performances des circuits intégrés tous les trois ans
. Les microprocesseurs et mémoires sont les principaux responsables de ce phénomène.
Durant ces dernières années, les
progrès en lithogravure
ont principalement affecté les dimensions des dispositifs actifs et les interconnexions. En 2004, la lithographie industrielle la plus utilisée correspond à une dimension minimale de
90 nm
, avec des recherches sur des dispositifs aussi petits que
5 nm
.
En parallèle à la réduction des dimensions des dispositifs, le nombre de circuits élémentaires...
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