4. Nanophotolithographie en champ proche
Afin de mettre en œuvre une nanophotolithographie en champ proche, trois points clés ont du être traités :
la connaissance et la qualité (puissance et taille) de la source optique ;
la réponse intrinsèque du matériau photosensible;
la distance entre le matériau et la source.
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Nanophotolithographie en champ proche
Conclusion
Références bibliographiques
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