Conclusion
Nanophotolithographie en champ proche

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NM556 V1 Article de référence

Conclusion
Nanophotolithographie en champ proche

Auteur(s) : Renaud BACHELOT

Date de publication : 10 octobre 2007 | Read in english

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5. Conclusion

À travers de nombreux exemples, nous avons vu qu'il était possible de photostructurer la matière à une échelle nanométrique non limitée par la longueur d'onde de la lumière. Les processus d'interaction entre la lumière et la matière sont à cette échelle très nombreux et impliquent souvent des effets thermiques locaux. Ce domaine très récent (la plupart des articles cités dans ce dossier datent de moins de 10 ans) a permis de progresser considérablement dans la connaissance des matériaux et dans la mise au point de nanosources optiques performantes. Réciproquement, les progrès rapides de la nano-optique  ...

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