Exploitation de l'optique de champ proche
Nanophotolithographie en champ proche

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NM556 V1 Article de référence

Exploitation de l'optique de champ proche
Nanophotolithographie en champ proche

Auteur(s) : Renaud BACHELOT

Date de publication : 10 octobre 2007 | Read in english

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3. Exploitation de l'optique de champ proche

Avec l'avènement de la microscopie/spectroscopie optique en champ proche, suivi de celui de la nanooptique et de la nanophotonique 

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