3. Mesure de taille par microscopie à force atomique (AFM)
3.1 Principe de la mesure par AFM
La microscopie à force atomique est utilisée entre autre pour visualiser la topographie d’un échantillon. Un levier micrométrique souple et muni à son extrémité libre d’une pointe dont l’apex est assimilable à une sphère de quelques dizaines de nanomètres de diamètre, est utilisé pour balayer la surface d’un échantillon. Lorsque la pointe est amenée à proximité de la surface, des forces, pouvant être attractives ou répulsives, apparaissent, provoquant la déflexion du levier. Afin de convertir la déflexion du levier en signal électrique, un système de détection est utilisé au niveau de la tête AFM. Plusieurs techniques peuvent être utilisées (interférométrique, piézo-électrique, capacitive, piézorésistive). Cependant, c’est la méthode de détection...
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Mesure de taille par microscopie à force atomique (AFM)
Mesure de taille par microscopie électronique à balayage (MEB)
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