Matériaux, impact environnemental et évolutions de l’ALD
Atomic Layer Deposition (ALD) - Principes, matériaux, évolutions, applications

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Matériaux, impact environnemental et évolutions de l’ALD
Atomic Layer Deposition (ALD) - Principes, matériaux, évolutions, applications

Auteur(s) : Nathanaelle SCHNEIDER, Élisabeth BLANQUET

Date de publication : 10 juillet 2026 | Read in english

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2. Matériaux, impact environnemental et évolutions de l’ALD

2.1 Matériaux déposés par ALD

Une grande palette de matériaux est désormais accessible par ALD. Dans cette partie, nous en dressons une liste non-exhaustive : de nouveaux procédés étant sans cesse développés, cette liste est par essence obsolète. Le professeur Erwin Kessels et son équipe de recherche supervisent un recensement de la littérature, pour présenter l’ensemble des matériaux accessibles par couleur selon la nature du composé élaboré, dans la forme de la classification périodique. Les versions actualisées en 2015 et 2025 sont données sur la figure  8 .

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