Mesure de la fréquence de résonance
Microcapteurs chimiques en micropoutres silicium pour régime dynamique

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Mesure de la fréquence de résonance
Microcapteurs chimiques en micropoutres silicium pour régime dynamique

Auteur(s) : Isabelle DUFOUR, Frédéric LOCHON

Date de publication : 10 avril 2006

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3. Mesure de la fréquence de résonance

Nous avons vu que la fréquence de résonance d'une micropoutre recouverte d'une couche sensible variait en fonction de la concentration en espèces cibles présentes dans l'environnement de la microstructure. Nous allons voir dans ce paragraphe comment il est possible de mesurer cette fréquence de résonance et d'en suivre, en temps réel l'évolution (§  3.3 ).

Pour cela il faut être capable de mettre en vibration la structure (§  3.1

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