4. Exemples de réalisations et de détections
Nous présentons dans ce paragraphe des exemples de microcapteurs chimiques à base de micropoutre en silicium conçus et testés au Laboratoire IMS de Bordeaux.
• Laboratoire IMS -Bordeaux http://www.ims-bordeaux.fr
4.1 Conception et fabrication des micropoutres
Les micropoutres ont été conçues au laboratoire IMS, puis fabriquées à l'ESIEE.
• ESIEE , École supérieure d'ingénieurs en électronique et électrotechnique, Marne la vallée http://www.esiee.fr
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Exemples de réalisations et de détections
Conclusion
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