Préparation et propriétés des microparticules de silicium poreux
Microparticules « intelligentes » de silicium poreux pour la détection d'agents chimiques et biologiques

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Préparation et propriétés des microparticules de silicium poreux
Microparticules « intelligentes » de silicium poreux pour la détection d'agents chimiques et biologiques

Auteur(s) : Frédérique CUNIN,, Jean-Marie DEVOISSELLE, Michael J. SAILOR

Date de publication : 10 mars 2006

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2. Préparation et propriétés des microparticules de silicium poreux

2.1 Préparation du silicium poreux

Le silicium poreux est préparé par gravure électrochimique de wafer de silicium monocristallin. Dans cette réaction, le silicium cristallin est attaqué par une solution aqueuse contenant de l’acide fluorhydrique et de l’éthanol. Cette préparation est réalisée dans une cellule en téflon présentée sur la figure  1 .

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