1. Chimie et physique à l’échelle nanoscopique et microscopique
Dans cette section, nous examinerons brièvement les conditions chimiques et physiques qui doivent être réalisées à l’échelle atomique (dimensions de quelques nanomètres) et microscopique (dimensions de quelques micromètres) dans un réacteur, qui a généralement des dimensions allant du millimètre au mètre afin d’obtenir un dépôt ALD. Cet aspect est traité de façon plus détaillée dans plusieurs articles récents
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Chimie et physique à l’échelle nanoscopique et microscopique
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