Exemples d’applications
Simulation à l'échelle atomique en ALD des oxydes ultra-minces

Afin d’illustrer la démarche de modélisation multi niveaux précédemment exposée, nous allons nous appuyer sur des exemples concrets de calculs qui ont été effectués dans divers cadres au contact de développements expérimentaux essentiellement en microélectronique. Nous verrons tout d’abord comment la simulation à l’échelle atomique peut répondre à des questions fondamentales de la chimie de base des processus réactionnels. Ces données permettent ensuite la mise en œuvre de simulations par Monte Carlo cinétique pour la simulation de la croissance par ALD. Nous nous attacherons à décrire également des processus chimiques plus complexes et plus proches de certaines réalités expérimentales. Dans le cadre d’un nouvel axe applicatif de l’ALD pour les matériaux énergétiques nano-structurés, nous mettrons en évidence le caractère coopératif DFT/expérience et nous pourrons comparer les chimies types,...