6. Conclusion
Le domaine technique des réacteurs ALD a considérablement évolué au cours des dernières décennies. Une variété de types d’équipements matures et fiables est maintenant disponible. Le choix le plus approprié de l’équipement dépend fortement de l’application particulière visée. Un grand nombre d’indicateurs de performance existent tels que la taille du substrat, le choix des précurseurs disponibles, le temps de cycle minimum, les propriétés physico- chimiques des couches déposés, l’uniformité et la stabilité du processus, la microcontamination, la fiabilité et le coût de l’équipement. L’importance relative donnée à ces métriques dans le choix d’un équipement dépend de l’application finale.
Il y a une tendance continue de l’innovation dans le domaine, tant au niveau des architectures des réacteurs, que des sous-systèmes et composants, qui est alimentée par le nombre...
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