Contexte
Pulvérisation magnétron à impulsions bipolaires de haute puissance

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IN251 V1 Recherche et innovation

Contexte
Pulvérisation magnétron à impulsions bipolaires de haute puissance

Auteur(s) : Matthieu MICHIELS, Stephanos KONSTANTINIDIS, Dominique DECKERS

Date de publication : 10 septembre 2023 | Read in english

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1. Contexte

Au cours du processus de pulvérisation cathodique [IN 207] , les ions positifs du plasma (ex : Ar + ) sont accélérés vers la surface de la cathode polarisée négativement. Sur celle-ci est fixée une cible dont les atomes de surface sont éjectés à la suite du bombardement ionique. La pulvérisation de la cible génère une vapeur d’atomes...

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