4. Effet du champ électromagnétique de la cathode sur les propriétés du plasma
Il est bien connu que les propriétés des films minces sont fortement corrélées à l’énergie par atome déposé , comme l’ont démontré diverses publications
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Effet du champ électromagnétique de la cathode sur les propriétés du plasma
Synthèse de films de titane et de dioxyde de titane
Sources bibliographiques
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