Différents types d'architectures
Microbatteries - Microsources d'énergie en couches minces

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D3342 V2 Article de référence

Différents types d'architectures
Microbatteries - Microsources d'énergie en couches minces

Auteur(s) : Alain LEVASSEUR, Brigitte PECQUENARD, Philippe VINATIER, Raphaël SALOT, Frédéric LE CRAS, Michel MARTIN

Relu et validé le 15 septembre 2020 | Read in english

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3. Différents types d'architectures

3.1 Microbatteries 2D

Les microbatteries 2D désignent des microbatteries composées d'un empilement de couches minces sur un substrat plan (verre, céramique, silicium isolé, métal isolé, polymère revêtu d'une couche barrière à l'humidité). Chaque couche mince possède une géométrie particulière afin que l'empilement soit fonctionnel.

La géométrie désirée peut être obtenue :

  • soit en réalisant le dépôt au travers d'un masque mécanique (pochoir) ;

  • soit au moyen des techniques de gravure après que le dépôt ait été réalisé sur toute la surface du substrat....

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