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Ingénieur chercheur - CEA Leti, Grenoble, France
L’utilisation du dépôt par couches atomiques est de plus en plus répandue dans le secteur de la microélectronique. Découvrez les évolutions récentes de cette technique, notamment une plus large gamme de composition des films et différentes solutions pour améliorer la rentabilité de ces procédés.
Savez-vous que la technologie Atomic Layer Deposition peut protéger les semi-conducteurs organiques ou inorganiques de la dégradation par les gaz oxydants de l’atmosphère ? En effet, elle permet le dépôt sur ces circuits de films barrières sans défaut.
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