Pascal BERGER

Une microsonde nucléaire, qui n’est autre qu’un microfaisceau d’ions de haute énergie, peut être utilisée à plusieurs fins : un moyen de dosage élémentaire, une méthode de caractérisation structurale ou bien un outil de dépôt local d’énergie ou de charges. Grâce à la maîtrise des caractéristiques du faisceau, la microsonde nucléaire permet une localisation latérale très fine, et ainsi l’accès à la répartition quantitative des éléments dans les trois dimensions à l’échelle micrométrique.

Cet article est consacré au champ d’application devenu très vaste des microsondes nucléaires. Moyen d’analyse élémentaire, de caractérisation structurale ou outil de dépôt d’énergie ou de charges, cet appareillage est utilisé dans des domaines très variés (physique du solide, métallurgie, biologie, médecine, sciences de l’environnement), et également pour des usages non analytiques en sciences des matériaux ou en microélectronique.