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Maître de Conférences à l’Université Henri Poincaré. Nancy I - Responsable de l’équipe « Dépôt Physique ». Laboratoire de Science et Génie des Surfaces
Relu et validé
Cet article détaille le procédé de pulvérisation cathodique magnétron, procédé qui associe l’effet thermique et l’effet mécanique pour l’obtention de la vapeur métallique. Les relations entre les conditions d’élaboration des revêtements de métaux ou alliages et leurs caractéristiques métallurgiques sont établies. Les mécanismes qui prédominent le procédé de pulvérisation cathodique magnétron en condition réactive sont ensuite explicités, notamment les difficultés ainsi que les solutions pour s’en affranchir. Pour illustrer, sont présentées deux méthodes spectroscopiques de diagnostic plasma et d’interférométrie optique autorisant le contrôle in situ du procédé.